氣體分析是利用各種氣體的物理、化學性質不同來測定混合氣體組成的分析方法。在工業生產中對各種工業氣體都要經過分析，常用的氣體分析方法有：化學分析法（吸收法、燃燒法）、物理分析法（密度、熱導率、折射率、熱值等）和物理化學分析法（電導法、色譜法、紅外光譜法等）。
1、電化學分析儀器
包括采用固體電解質的氧化鋯氧分析儀器和采用液體電解質的燃料電池式氧分析儀器。
1.1氧化鋯氧分析儀器
氧化鋯探頭具有耐高溫的特點，因此被廣泛應用于鍋爐經濟燃燒場合。以氧化鋯作固體電介質，高溫下的電介質兩側氧濃度不同時形成濃差電池，濃差電池產生的電動勢與兩側氧濃度有關，如果一側氧濃度固定，即可通過測量輸出電動勢來測量另一側的氧含量。
1.2燃料電池式氧分析儀器
燃料電池是一種電化學裝置，其單體電池是由正負兩個電極（負極即燃料電極，正極即氧化劑電極）以及電解質組成。其可分為液體燃料電池和固體燃料電池，廣泛適合測微量氧和常量氧。
1.3電解池式氧分析儀器，可以達到PPb級痕量的測量。
2、熱導式氣體分析儀器
熱導式氣體分析儀器是根據各種物質導熱性能的不同，通過測量混合氣體熱導率的變化來分析氣體組成的儀器。檢測器部分為惠斯頓電橋，通過比較待測樣品氣體與參比氣體（一般選擇空氣）之間的熱導差異，從而得出被測樣氣的濃度。
2.1分析儀器組成和工作原理
熱導式氣體分析儀器的組成可劃分為熱導檢測器和電路兩大部分。熱導檢測器由熱導池和測量電橋構成，熱導池作為測量電橋的橋臂連接在橋路中。電路部分包括穩壓電源、恒溫控制器、信號放大電路、線性化電路和輸出電路。
3、微量水分析儀器
目前常用的是電容式微量水分析儀，主要是由多孔氧化鋁層或高分子薄膜層吸附水分，從而改變電容傳感器的介電常數，而所吸收水的量與電容的對數成線性關系。通過測量電容的變化可以得出被測氣體中所含微量水分的濃度。
4、光學分析儀器
紅外氣體分析儀器可分為不分光型（非色散型）和分光型（色散型）。
不分光型（NDIR）光源發出的連續光譜全部投射到被測樣品上，待測組分吸收其特
征吸收波帶的紅外光。分光型（CDIR）采用一套分光系統，使通過測量氣室的輻射光譜與待測組分的特征吸收光譜相吻合。